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EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法 SJ/T 31273-1994

标准编号:SJ/T 31273-1994
标准名称:EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
发布日期
实施日期
当前状态现行
相关分类L01 (技术管理)
内容简介
本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机,其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。下载地址