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重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法 SJ 2757-1987

标准编号:SJ 2757-1987
标准名称:重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法
发布日期
实施日期1987-07-01
当前状态现行
相关分类L90 (电子技术专用材料)
内容简介
本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度,也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。测量浓度范围为:n-si:1.5×1018~1.5×1021cm-3;p-Si:3.0×1018~5.0×1020cm-3;n-GaAs:7.0×1016~1.0×1019cm-3;P-GaAa:2.6×1018~1.3×1020cm-3:n-InP:7.0×1016~1.0×1019cm-3。下载地址